安(ān)裝條(tiáo)件(jiàn)

本(běn)設備要(yào)求(qiú)在(zài)海拔1000m以(yǐ)下(xià)，溫(wēn)度25G15C 濕度(dù)55%Rh=10%Rh下使用(yòng)。

1， 水(shuǐ)：不需(xū)裳

2， 電：AC220V 50Hz,必須(xū)有良好接地(dì)

3， '：如作為(wéi)CVD係統(tǒng)使用，需自(zì)備氣源（標準帀有(yǒu)寶塔接頭，可(kě)自菱改(gǎi)製(zhì)成(chéng)為(wéi)雙(shuāng)卡套(tào)接頭）

4， 工作台：尺寸1200mmx600mmx700mm,承重300kg以上(shàng)

5， 通風(fēng)裝置：需要(yào)

主要特點

1， 雙(shuāng)層殼體(tǐ)，爐膛釆用(yòng)高(gāo)純氧化(huà)鋁(lǚ)纖維，設有(yǒu)風冷係(xì)統，殼體表(biǎo)麵溫(wēn)度＜55°Co

2， 內爐(lú)膛(táng)表麵(miàn)塗有(yǒu)進(jìn)口(kǒu)氧(yǎng)化鋁塗層，可以(yǐ)提高加熱(rè)效率，同(tóng)時延長使(shǐ)用壽(shòu)命(mìng)。

3， PID控製(zhì)器，可(kě)以設置(zhì)30段(duàn)升(shēng)降(jiàng)溫程(chéng)序(xù)。

4， 已通(tōng)過(guò)CE認證(zhèng)。

技(jì)術參數(shù)

1， 電源(yuán)：AC 220V 50Hz 60Hz 5KW

2， 氧化鋁(lǚ)管：外徑(jìng)060mm，內(nèi)徑054mm，長1000mm

3， 加熱(rè)元(yuán)件:1750*C級(jí)矽(guī)鋁棲(qī)

4， 加熱(rè)區域：457mm

5， 工(gōng)作溫度：高(gāo)1600‘C，連續(xù)800-1500‘C

6， 升降溫(wēn)速率:10*C/min （＜1200*0,5°C mm （＞1200°C）

7， 控溫精度(dù)：

8， 真空(kōng)度：lO-’torr （機械泵），lO-'torr （分(fēn)子泵(bèng)）

產品規格

尺寸(cùn)：590mm X490mmX 760mm ；重(zhòng)熨：150kg

標準(zhǔn)酉(yǒu)I件

1 氧(yǎng)化鋁(lǚ)管

1根(gēn)

2 氧化鋁(lǚ)管(guǎn)堵

2個(gè)

3 不鏽(xiù)鋼法蘭

1套(tào)

可(kě)迭酉I件

1， 移動爐架

2， 波(bō)紋(wén)管(guǎn)

3， 數(shù)字真(zhēn)空(kōng)計(jì)

4， KF25轉(zhuǎn)接頭

5， 不(bù)鏽鋼卡套接頭(tóu)