安(ān)裝條件(jiàn)

本(běn)設(shè)筐(kuāng)要求在(zài)海拔(bá)1000m以下，溫度251=15。。，濕(shī)度55%Rh=10%Rh下使用。

1， 水：不需(xū)要

2， 電(diàn)：AC220\'50Hz,必(bì)須(xū)有(yǒu)良(liáng)好接地

3， 氣：如作為(wéi)CVD係統(tǒng)使用(yòng)，需自備(bèi)氣源（標(biāo)準帝(dì)有寶(bǎo)塔接頭(tóu)，可自斐改(gǎi)製成(chéng)為雙(shuāng)卡套接頭(tóu)）

4， 工作(zuò)台(tái)：R\T600mmx600mmx700mm,承(chéng)重(zhòng) 100kg以(yǐ)上

5， 通風裝豈：需要

主要特點

1， 雙層殼體，甑(zèng)有(yǒu)循(xún)環(huán)風(fēng)冷係(xì)統(tǒng)，殼體表(biǎo)麵溫度<55^0

2， 開啟式爐體更方(fāng)便於(yú)爐管(guǎn)的更換。

3， 內爐(lú)膛(táng)表麵塗有進口氧(yǎng)化鋁塗(tú)層(céng)，可(kě)以提高(gāo)反射率和潔浄(jìng)度，同(tóng)時延(yán)長使用壽(shòu)命(mìng)。

4， PID控(kòng)製器(qì),可(kě)以設置(zhì)30段升(shēng)降溫(wēn)程(chéng)序。

5， 已通過CE認證(zhèng)。

技(jì)術參教

1， 電源(yuán)：AC 220V 50Hz 6KU‘

2， 石英(yīng)管(guǎn)：外徑(jìng)080mm，內徑072mm，長1000mm

3， 加熱(rè)元件：摻(chān)鑰鐵銘鋁合金電阻(zǔ)絲，表(biǎo)麵塗(tú)有氧(yǎng)化錯

4， 加熱區域(yù)：440mm

5， 工(gōng)作(zuò)溫(wēn)度(dù)：高(gāo)1200‘C «lh），連(lián)續(xù)工(gōng)作(zuò)1100°C

6， 大(dà)升降溫(wēn)速率:20°C min

7， 控溫精(jīng)度：±rc

8， 真空(kōng)度：loAjrr （機械(xiè)泵），10'⁵torr （分子泵(bèng)）

9， 漏氣(qì)率(shuài):<5mtorr min

產品規(guī)格(gé)

尺寸：550mmX 380mm X520mm；重裏(lǐ)：80kg

可迭圖件

1， 鉉(xuàn)說式法蘭(lán)

2， 訪腐(fǔ)型數(shù)字式真空顯示(shì)計

3， KF25轉接(jiē)頭

4， VCR雙卡(qiǎ)套(tào)接頭

5， 滑軌(guǐ)法蘭(lán)

6， 移動(dòng)爐(lú)架